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結(jié)合相關(guān)理論得知，三次元測量儀誤差補償方法主要有三種，即溫度補償法、軟件修正補償法、測量力誤差補償法，對此下文將進行相關(guān)分析。

1 溫度補償法
溫度是引起三次元測量儀誤差的重要因素，且在此因素條件下，靜態(tài)誤差與動態(tài)誤差可能同時存在，所以在測量當中采用溫度補償法是消除測量誤差的重要舉措。在相關(guān)理論當中，溫度補償法分為三個部分，即標溫下結(jié)構(gòu)參數(shù)標定、溫度實時采集、誤差系數(shù)補償，下文將對三個步驟的具體內(nèi)容進行分析。
（1）標溫下結(jié)構(gòu)參數(shù)標定。在溫度引起的靜態(tài)誤差當中，需要先確認正常溫度條件下，設(shè)備最低誤差參數(shù)，即三次元測量儀未受溫度影響之前，其所有結(jié)構(gòu)的參數(shù)數(shù)值，確認之后即可得到一個標準的對比參數(shù)集，主要用于之后的誤差值對比當中。
（2）溫度實時采集。在完成上述參數(shù)標定工作之后，需要對當前存在溫度誤差的三次元測量儀。依照標定參數(shù)集中的每個參數(shù)項進行實際測量、采集，以得到設(shè)備當前的參數(shù)集合。之后將參數(shù)標定結(jié)果與實際采集結(jié)果相互對比，即可得到當前三次元測量儀誤差與標準參數(shù)之間的差距，以供后續(xù)補償調(diào)整。
（3）誤差系數(shù)補償。根據(jù)上述溫度實時采集與標定參數(shù)的對比結(jié)果，可以采用溫度熱變形誤差公式來進行補償，在補償過程當中，要將對比得出的三次元測量儀實際誤差與參數(shù)誤差的比值代入公式當中，通過數(shù)值補償將設(shè)備參數(shù)調(diào)整到與標定參數(shù)一致的水平下即可。
此外，介于上述分析可見，溫度補償法的應用相對復雜，且需要進行多項對比，那么為了保障該方法應用順利，建議采用仿真軟件來模擬標定參數(shù)設(shè)備與誤差設(shè)備，以此得到兩個模型，借助模型的直觀性可以簡化其中計算過程。

2 軟件修正補償法
軟件修正補償法是一種針對三次元測量儀動態(tài)誤差來進行補償?shù)姆椒?，在實際應用當中十分常見。具體應用上，介于上述動態(tài)誤差的溫度、環(huán)境、人工分析結(jié)果可見，動態(tài)誤差可以被分為兩個類型，這兩個類型被稱為實時性動態(tài)誤差、非實時性動態(tài)誤差，那么針對實時性動態(tài)誤差，在軟件修正補償法當中，直接對現(xiàn)場誤差數(shù)據(jù)進行調(diào)整，使其與標準參數(shù)一致即可；針對非實時性誤差，則利用采集系統(tǒng)來獲得設(shè)備當前誤差系數(shù)，再結(jié)合標準系數(shù)進行矯正即可。

3 測量力誤差補償法
在三次元測量儀應用當中，如果其測量力存在異常容易導致側(cè)桿彎曲，相應引起誤差現(xiàn)象，此類誤差屬于非實時性動態(tài)誤差，那么針對此類誤差，除了上述提到的軟件修正補償法以外，還可以采用測量力誤差補償法來進行調(diào)整。具體應用當中，首先利用仿真軟件（或其他建模軟件）來建立三次元測量儀的測頭、測桿結(jié)構(gòu)模型，其次將當前測量力輸入模型當中，在看測桿是否彎曲、彎曲程度，如果存在彎曲，則減弱模型中的測量力，直至測桿不彎曲，且滿足測量需求位置，最終將模型測量力參數(shù)輸入三次元測量儀當中即可起到應有效果。